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鎢燈絲掃描電子顯微鏡主要的性能參數(shù)有哪幾點(diǎn)

更新時(shí)間:2022-08-27      點(diǎn)擊次數(shù):960
  鎢燈絲掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測器,使選擇檢測得以實(shí)現(xiàn)。如對二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對x射線的采集,可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。
 
  掃描電鏡的另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大,圖像立體掃描電鏡的透射電鏡是光學(xué)顯微鏡的10倍由于圖像景深較大,獲得的掃描電子圖像具有三維感強(qiáng)、形狀三維等特點(diǎn),比其他顯微鏡能提供更多的信息,對用戶有很大的價(jià)值掃描電鏡所表明斷裂形態(tài)從深層和高景深的角度反映了材料斷裂的性質(zhì),在教學(xué)科研和生產(chǎn)中具有不可替代的作用,是材料斷裂原因分析、事故原因分析、工藝合理性確定等方面的有力工具。
 
  因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。掃描電鏡同其他方式的電子顯微鏡比較,由于用于觀察的電子探針電流小,電子探針的束斑尺寸小,電子探針的能量也小此外,它不會在固定處照射樣品,而是通過光柵掃描照射樣品因此,對一些生物樣品進(jìn)行觀察是非常重要的,因?yàn)闃悠返膿p傷和污染程度都很小。
 
  鎢燈絲掃描電子顯微鏡主要性能參數(shù)
 
  1、分辨率
 
  對微區(qū)成分分析而言,分辨率指能分析的最小區(qū)域;對成像而言,它是指能分辨兩點(diǎn)間的最小距離。
 
  鎢燈絲掃描電子顯微鏡分辨率主要受三方面影響:入射電子束束斑直徑、入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)、成像方式及所用的調(diào)制信號。
 
  二次電子像的分辨率約為5-10nm,背散射電子像的分辨率約為50-200nm。一般來說鎢燈絲掃描電子顯微鏡分辨率指的是二次電子像的分辨率。
 
  2、放大倍數(shù)
 
  放大倍數(shù)可從十倍到幾十萬倍連續(xù)可調(diào)。
 
  放大倍數(shù):M=L/I,其中L是顯像管尺寸,I是光柵掃描時(shí)相鄰兩點(diǎn)間距。M通過調(diào)節(jié)掃描線圈電流進(jìn)行,電流小則電子束偏轉(zhuǎn)角度小,放大倍數(shù)增大。放大倍率不是越大越好,要根據(jù)有效放大倍率和分析樣品的需要進(jìn)行選擇,與分辨率保持一定關(guān)系。
 
  3、景深
 
  景深指一個(gè)透鏡對高低不平的試樣各部位能同時(shí)聚焦成像的一個(gè)能力范圍。估算景深D=2 r/a=0.2/(aM)mm,a-電子束張角,M-放大倍數(shù)。物鏡采用小孔視角、長焦距,可獲得很大景深。
 
  4、襯度
 
  包括表面形貌襯度和原子序數(shù)襯度。表面形貌襯度由試樣表面的不平整性引起。原子序數(shù)襯度指掃描電子束入射試祥時(shí)產(chǎn)生的背散射電子、吸收電子、X射線,對微區(qū)內(nèi)原子序數(shù)的差異相當(dāng)敏感。原子序數(shù)越大,圖像越亮。二次電子受原子序數(shù)的影響較小。高分子中各組分之間的平均原子序數(shù)差別不大;所以只有—些特殊的高分子多相體系才能利用這種襯度成像。
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